ES660 ESD靜電放電和閂鎖測(cè)試系統(tǒng)

ESDEMC Technology LLC 由 Wei Huang 于 2011 年 3 月在美國(guó)密蘇里州羅拉創(chuàng)立。ESDEMC 開(kāi)發(fā) ESD 和 EMC 解決方案。公司致力于提供創(chuàng)新、先進(jìn)、高質(zhì)量和具有成本效益的解決方案以及一般咨詢(xún)、測(cè)試服務(wù)和定制項(xiàng)目。產(chǎn)品包括充電設(shè)備模型 (CDM) 系統(tǒng)、電纜放電事件 (CDE) 系統(tǒng)、ESD 模擬器、脈沖衰減器、電流探頭、用于射頻發(fā)射/免疫的 TEM 電池、高壓直流電源、定制的高壓/射頻設(shè)計(jì)。ESDEMC Technology 自 2012 年以來(lái)一直是 ESD 協(xié)會(huì)的企業(yè)會(huì)員。

ES660 ESD靜電放電和閂鎖測(cè)試系統(tǒng)是一款先進(jìn)的多針自動(dòng)測(cè)試設(shè)備。針對(duì)現(xiàn)代半導(dǎo)體測(cè)試的嚴(yán)苛要求而設(shè)計(jì)。產(chǎn)品的測(cè)試能力保障大規(guī)模器件的高效評(píng)估，顯著縮短測(cè)試時(shí)間并提升生產(chǎn)效率。

專(zhuān)為滿(mǎn)足現(xiàn)代半導(dǎo)體測(cè)試的嚴(yán)苛要求而設(shè)計(jì)。該多功能設(shè)備可全面支持人體放電模型（HBM）、機(jī)器模型（MM）、閂鎖（LU）及瞬態(tài)閂鎖（TLU）測(cè)試，為集成電路（IC）和電子元件的可靠性評(píng)估提供完整解決方案。相比ES612A+RE64繼電器擴(kuò)展模塊/ES660-P1-EM1 ATE擴(kuò)展模塊的舊方案，ES660具備更高規(guī)格配置。ES660-P1基礎(chǔ)配置支持128至1024/1280引腳及10條總線(xiàn)，是多接口集成電路與電子元件測(cè)試的理想硬件平臺(tái)。針對(duì)更高引腳數(shù)測(cè)試需求，ES660-P1可升級(jí)至ES660-P2配置。該配置采用高密度主機(jī)母板，支持高達(dá)2560引腳和12條總線(xiàn)。最新ES660主機(jī)與繼電器卡的高壓直流總線(xiàn)額定電壓達(dá)800+V以上，標(biāo)準(zhǔn)電壓總線(xiàn)為100V直流，ESD與漏電通路的耐壓等級(jí)達(dá)1200+V直流。該設(shè)計(jì)使系統(tǒng)具備高壓直流與閂鎖測(cè)試能力（例如支持高達(dá)±300V的LU偏壓和應(yīng)力）。高度模塊化設(shè)計(jì)確保設(shè)備可持續(xù)升級(jí)，以支持未來(lái)更高引腳數(shù)與更先進(jìn)的測(cè)試需求。ES660的測(cè)試能力保障大規(guī)模器件的高效評(píng)估，顯著縮短測(cè)試時(shí)間并提升生產(chǎn)效率。

產(chǎn)品特性

● 系統(tǒng)配置高度靈活，支持從128引腳擴(kuò)展至2560引腳，總線(xiàn)數(shù)量可配置1至12條

● 具備高規(guī)格測(cè)試能力，包括10kV HBM、4kV MM、300V/1A直流及閂鎖應(yīng)力、1100V SMU漏電流測(cè)試

● 基于低寄生繼電器的HBM測(cè)試儀(符合JS-001 2017附錄B4、2023/2024附錄C5 N=9標(biāo)準(zhǔn))

● ESD測(cè)試速度快（可選10/15引腳每秒，正在開(kāi)發(fā)20+引腳每秒）

● 兼容多種ESD/閂鎖/瞬態(tài)閂鎖測(cè)試方法與標(biāo)準(zhǔn)

● 可通過(guò)軟件捕獲并顯示閂鎖源的電壓電流波形（支持帶/不帶示波器多種配置）

● 配合外部電壓電流探頭，可通過(guò)軟件捕獲ESD IV特性曲線(xiàn)

● 可選配溫控強(qiáng)制模塊（可選室溫至200°C或-15至200°C范圍）

● 可選配多協(xié)議預(yù)處理模塊，實(shí)現(xiàn)閂鎖測(cè)試中的交互行為

● 14英寸觸摸屏實(shí)時(shí)顯示測(cè)試進(jìn)度與狀態(tài)

● 支持瞬態(tài)閂鎖測(cè)試配置（可搭配TLP/EOS/浪涌等測(cè)試方法）

產(chǎn)品應(yīng)用

● 半導(dǎo)體ESD/EOS/LU測(cè)試

● HBM測(cè)試配置符合ANSI/ESDA/JEDEC JS-001、MIL-STD-883E、AECQ100-002、AEC-Q-101-001、AEC-Q100-002及GJB548C標(biāo)準(zhǔn)

● MM測(cè)試配置符合ANSI/ESDA SP5.2、JEDEC/JESD22-A115標(biāo)準(zhǔn)

● 閂鎖（LU）測(cè)試：符合 JEDEC JESD78、AEC-Q100-004 標(biāo)準(zhǔn)，支持Overvoltage-Test、I-Test

● 瞬態(tài)閂鎖（TLU）測(cè)量配置符合ANSI/ESD SP5.4.1 標(biāo)準(zhǔn)

ES660 ESD靜電放電和閂鎖測(cè)試系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格

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